IC裝備是《國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃綱要(2006—2020年)》確定的16個國家重大科技專項之一。實施國家重大專項，是將沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)納入國家戰(zhàn)略，在更高層面上參與國內(nèi)外競爭，搶占技術(shù)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展制高點的戰(zhàn)略需要。自IC國家科技重大專項設(shè)立以來，經(jīng)沈陽市組織推動，共有6家企業(yè)承擔(dān)了14項02科技重大專項課題，累計獲得國家資金支持6.95億元。其中，8項到期課題全部順利完成專項辦組織的驗收。

拓荊公司申報的2016年項目“1x nm 3D NAND PECVD研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”即將獲得立項。重大專項的順利實施，提升了沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)在國家戰(zhàn)略版圖中的地位。國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金完成對拓荊科技的增資擴(kuò)股，2.7億元投資全部到位。

市科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，沈陽市以重大專項實施為引領(lǐng)，充分發(fā)揮IC產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的行業(yè)紐帶作用，實現(xiàn)了關(guān)鍵技術(shù)突破和重點產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化。截至目前，沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)形成了“一項控制系統(tǒng)技術(shù)(集成電路生產(chǎn)線智能調(diào)度與質(zhì)量優(yōu)化控制技術(shù))、四類重要整機(jī)裝備(PECVD薄膜設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、劃片機(jī)、刻蝕機(jī))、一批關(guān)鍵單元部件(潔凈機(jī)械手、羅茨干泵、真空氣動閘板閥、SMIF系統(tǒng)及晶片傳輸設(shè)備等21種單元部件和子系統(tǒng))和一個精密零部件支撐平臺(IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺)”的配套體系和批量生產(chǎn)能力。在關(guān)鍵整機(jī)方面，擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的首臺國產(chǎn)12英寸PECVD設(shè)備完成了在中芯國際的在線測試，各項指標(biāo)達(dá)到相關(guān)要求，實現(xiàn)了我國在IC裝備國產(chǎn)化方面的重大突破;自主研發(fā)、填補(bǔ)國內(nèi)空白的12英寸TRACK在國內(nèi)著名芯片封裝企業(yè)——江陰長電正式投入使用;自主研發(fā)的IC裝備控制系統(tǒng)開發(fā)平臺已在國產(chǎn)PECVD、TRACK整機(jī)裝備上得到驗證;在關(guān)鍵零部件方面，“干泵與系列真空閥門產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目完成了全部8種產(chǎn)品的生產(chǎn)，110臺套得以應(yīng)用，申請專利58項，授權(quán)33項，頒布實施行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項;12寸凸點封裝涂膠、噴膠、顯影設(shè)備成為江陰長電生產(chǎn)線上的主力機(jī)臺;完成潔凈、真空和光刻機(jī)傳輸機(jī)械手樣機(jī)研制工作，銷售產(chǎn)品65臺(套);“IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺”通過了全球最大的集成電路設(shè)備商美國應(yīng)用材料公司的評審，成為正式供應(yīng)商。